BOC Edwards является лидером в области чистой и сухой вакуумной технологии. Первые насосы STP поступили в продажу в 1983. К настоящему времени установлено более 70000 единиц этих насосов по всему миру. 85% из них работают в установках обработки полупроводников, в которых они демонстрируют исключительную надежность. Насосы STP — лучший выбор для применений, где требуется длительная непрерывная эксплуатация, отсутствие углеводородов, минимальное обслуживание и малая вибрация. Подтвержденная надежность; чистый высокий безмасляный вакуум; весь диапазон от 300 до 3500 л/с; специализированные модели; очень низкий уровень шума и вибраций; низкие эксплуатационные расходы; фактически отсутствует необходимость обслуживания; монтаж в любом положении; полный интерфейс дистанционного управления; повсеместное сервисное обслуживание BOC Edwards. Проверенная технология магнитной подвески. Ротор полностью подвешен в магнитном поле, так, что контакт между ротором и остальными частями насоса исключен. Наряду с обеспечением очень низкого уровня вибраций, отсутствие контакта означает отсутствие износа подшипников и, как следствие, обслуживания насоса.

Сверхвысоковакуумная серия турбомолекулярных насосов с магнитной подвеской предназначена, прежде всего, для полупроводниковой промышленности, а также изучения свойств поверхности и физики высоких энергий. Эти насосы исключительно функциональны, надежны и обеспечивают чистоту и уровни вибраций на уровне лучших образцов своего класса. Питание всех насосов осуществляется от постоянного тока. Насосы работают с контроллером, обеспечивающим автоподстройку и расширенный набор диагностических функций. Серия содержит насосы со скоростями от 300 до 1000 л/с, и все они могут поставляться с фланцами ISO либо CF. Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP301/STP301C Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP803C Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP1303C Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP1603C Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP2203C

Серия с высокой пропускной способностью турбомолекулярных насосов с магнитной подвеской способна создавать значительные газовые потоки, требуемые современными системами травления полупроводников, ионной имплантации, а также системами ЖКИ. Все насосы снабжены пятиосной системой магнитной подвески, а также приводом постоянного тока для повышения устойчивости ко внешним воздействиям и стабильности. Для обеспечения повышенной пропускной способности используется вязкостная ступень. Эти насосы работают с контроллером шириной в половину стандартной стойки, обеспечивающим автоподстройку и расширенный набор диагностических функций, а также имеющим встроенную систему управления температурой. Серия разработана для потоков от 300 до 1300 л/с. Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP-XA2703C Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP-XA3203C Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP-XA4503C

Новая улучшенная серия турбомолекулярных насосов с магнитной подвеской удовлетворяет требованиям следующего поколения процессов травления полупроводников и процессов Химического Осаждения из Паровой Фазы (СVD). Эти насосы были разработаны путем модернизации сверхнадежных и высокофункциональных насосов серии H. Использованная улучшенная конструкция ротора, наряду с применением лучших материалов, позволила создать новое поколение турбомолекулярных насосов с высокой пропускной способностью в габаритах, идентичных многим существующим моделям. Серия содержит насосы пропускной способностью от 1300 до 3500 л/с. Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP-IX455 Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP-IX2206 Описание вакуумного турбомолекулярного насоса STP-IX3306

Отсутствие масла. Все STP турбомолекулярные насосы — безмасляные. Использование магнитной подвески позволяет исключить углеводородные смазки, гарантируя, тем самым, отсутствие ухудшения условий вакуумного процесса по вине турбомолекулярного насоса. Эта особенность является жизненно важной для полупроводниковой промышленности (где плотность приборов постоянно растет), а также для процессов анализа поверхности и физики высоких энергий (где даже малейшие следы загрязнений искажают результаты измерений).

Отсутствие обслуживания. В отличие от традиционных механических подшипников, магнитная подвеска означает отсутствие трущегося контакта, устраняя источники износа и вибраций. Эта особенность позволяет турбомолекулярным насосам STP работать годами фактически без обслуживания, сводя к минимуму ежегодные затраты на содержание и гарантируя достижение максимального периода непрерывной работы. Эта способность работать без обслуживания может оказаться особенно выгодной для процессов, являющихся источниками химического или радиоактивного загрязнения.

Отсутствие вибраций. Магнитная подвеска ротора позволяет достигнуть исключительно низкого уровня шума и вибраций. Полный размах уровня вибраций составляет менее 0,02 мкм. Эта амплитуда остается постоянной на протяжении всего срока службы насоса и не содержит низших гармонических составляющия, являющихся частым источником проблем.

Система автоматической балансировки (ABS). Эта система является уникальным запатентованным развитием пятиосной технологии. В случае появления дисбаланса ротора (например, вследствие осаждения побочных продуктов процесса), датчики в насосе обнаруживают изменение движения ротора и компенсируют магнитные поля подвески таким образом, чтобы обеспечить возможность вращения ротора вокруг его собственной оси инерции. Это сводит к минимуму вибрации, передаваемые на входной фланец. Автобалансировка работает во всем диапазоне скоростей вращения насоса.

Предохранительные резервные подшипники. Насосы STP имеют осевые и радиальные механические подшипники с сухой смазкой в качестве предохранительных резервных подшипников. Эти подшипники поддерживают ротор и защищают насос в случае полного нарушения работы магнитной подвески или массированного прорыва атмосферы, при котором происходит превышение жесткости магнитной подвески. Эти высокоточные шарикоподшипники имеют сухую смазку и при нормальной работе не контактируют с ротором.

Оптимизированные роторы. Многоступенчатые роторы, имеющие только плоскостную конструкцию в сверхвысоковакуумных насосах обеспечивают высокий вакуум, необходимый для четких траекторий на аппаратах CD SEM, масс-спектрометрах и ионных имплантаторах. Они обеспечивают оптимальные откачные характеристики с отличными уровнями компрессии легких газов.

Комбинированные роторы. Насосы с высокой пропускной способностью имеют вязкостную ступень, повышающую производительность насоса при низком давлении.

Комбинированные роторы улучшенной серии. Насосы улучшенной серии имеют комбинированный ротор измененной конструкции, с целью уменьшения внутренних зазоров в насосе, при изготовлении использованы улучшенные материалы. Роторы имеют улучшенный 3-мерный дизайн. Вязкостная ступень также перепроектирована с целью увеличения пропускной способности.

Коррозионностойкость. Для того, чтобы гарантировать высокую коррозионную стойкость, коррозионностойкие (С) и насосы с высокой пропускной способностью (H-C) имеют никелевое покрытие на роторах/статорах, а также внутренние элементы насоса, пригодные для использования для ионной имплантации и плазменного травления. По заказу, могут быть применены дополнительные степени защиты.

Азотный газобалласт. Коррозионностойкие (C) насосы и насосы с высокой пропускной способностью (H-C) имеют функцию азотного газобалласта. Постоянный поток азота через насос разбавляет коррозионно активные газы, минимизируя их вредное влияние на двигатели насосов, а также сенсорные катушки.

Система управления температурой. Система управления температурой BOC Edwards может быть установлена на широкой номенклатуре турбомолекулярных насосов. Эта система разработана с целью оптимизации температуры в насосе, что позволяет коренным образом уменьшить осаждение частиц внутри насоса. Это позволяет не только значительно улучшить функционирование насоса в жестких технологических условиях, но и увеличить время его работы без технического обслуживания.

Производство полупроводников. Турбомолекулярные насосы STP — это насосы, которым отдают предпочтение ведущие мировые производители в области травления и имплантации полупроводниковых материалов. Эти насосы используются в сложнейших эксплуатационных условиях (например, травление металлов) и демонстрируют высочайшие уровни надежности.

• Плазменное травление (хлор-, фтор- и бромные технологии) металлов (алюминий, вольфрам), а также диэлектриков (оксидов) и поликремния;
• травление с применением электронного циклотронного резонанса (ECR);
• осаждение пленок (CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD);
• распыление;
• оконечная ступень откачки источников ионов для имплантации, а также трактов прохождения пучков;
• молекулярно-лучевая эпитаксия;
• диффузия;
• вскрытие фоторезиста;
• эпитаксиальное наращивание;
• контроль подложек;
• шлюзовые камеры.

Научные применения. Насосы STP широко используются в лучших мировых исследовательских и проектных институтах. Эти насосы удовлетворяют строгим требованиям к функциональности и надежности. Кроме указанных, они также используются в следующих областях:

• научные приборы: анализ поверхности, масс-спектрометрия, электронная микроскопия;
• физика высоких энергий: тракты прохождения пучков, ускорители;
• радиоактивные области применения: системы плавления, циклотроны.

Входной виброгаситель может использоваться для применений, где требуются уровни вибрации с полным размахом менее 0,02 мкм.

Подробное описание турбомолекулярных насосов на магнитной подушке (PDF 2,7 Мб).

Турбомолекулярные насосы и контроллеры серии ЕXT Турбомолекулярные насосы c верхней магнитной подвеской, гибридные турбомолекулярные насосы, контроллеры и универсальные контроллеры

Наши турбомолекулярные насосы и гибридные молекулярные насосы ЕХТ совместно с контроллерами серии ЕХС позволяют на современном технологическом уровне получать высокий и сверхвысокий вакуум, без присутствия углеводородов.

Турбомолекулярный насос представляет собой многоступенчатую осевую турбину. При вращении лопастей турбины с высокой скоростью происходит откачка молекул газа в заданном направлении. Турбомолекулярный насос рассчитан на работу в условиях молекулярного потока. Для обеспечения работоспособности турбомолекулярного насоса необходимо включение в вакуумную систему предварительного (форвакуумного) насоса: двухступенчатого пластинчато-роторного насоса или безмасляного спирального насоса с выхлопом в атмосферу.

Cостоит из турбомолекулярных и молекулярных ступеней, установленных на одном роторе. Такое сочетание позволяет: работать при высоком давлении в форлинии (обычно до 10 мбар); использовать менее эффективные форвакуумные насосы или безмасляные диафрагменные насосы.

Быстрота действия (скорость откачки) определяется диаметром ротора, размерами входного фланца и скоростью вращения. При высоком давлении на входе в турбомолекулярный насос, его быстрота действия зависит от быстроты действия предварительного (форвакуумного) насоса. Когда давление возрастает, скорость вращения ротора уменьшается вследствие ограничения температурным датчиком потребляемой мощности насоса. Максимальное давление на входе ограничивается потоком, который турбомолекулярный насос может перекачивать продолжительное время, и зависит от способа его охлаждения.

Номинальная потребляемая мощность — это мощность, определяемая при максимальной скорости вращения и безрасходном режиме откачки (давление на входе меньше 10¹ Па). Во время разгона, в случае высокой газовой нагрузки на входе или при повышении давления в форлинии, потребляемая мощность растет и достигает максимально допустимой контроллером ЕХС мощности. Максимально допустимое давление в форлинии для обычных турбомолекулярных насосов составляет 10—20 Па.

Коэффициент компрессии обусловлен скоростью вращения, количеством ступеней и молекулярным весом откачиваемого газа. Он выше для тяжелых газов, что объясняет эффективное противодействие проникновению углеводородов в откачиваемый объем. Значение коэффициента компрессии по водороду важно при использовании насоса для создания сверхвысокого вакуума.

Предельное остаточное давление, определяемое в соответствии со стандартами Pneurop, — это остаточное давление, достигаемое в откачиваемой системе через 48 часов откачки после окончания обезгаживания прогревом. В качестве форвакуумного насоса должен быть выбран в этом случае только двухступенчатый пластинчато-роторный насос. Фторэластомерные уплотнения используются в насосах с фланцами типа ISO, а металлические уплотнения — с фланцами типа CF.

Подшипниковый узел и система подвески. Мы используем две основные системы подвески: магнитный подвес и керамические подшипники. Необслуживаемые керамические подшипники используются вместо обычных стальных подшипников. Шарики подшипника, выполненные из нитрида кремния, легче, тверже и обладают более высокой однородностью в сравнении со стальными аналогами. При их использовании увеличивается ресурс и снижается уровень вибраций.

Повышение надежности достигается использованием разных материалов в паре шарик-канавка, предотвращающих образование поверхностных раковин. Использование магнитного подвеса еще более повышает надежность всей системы. В наших турбомолекулярных насосах серии ЕХТ со скоростью откачки вплоть до 540 л/с применена гибридная схема подвеса. На входе насоса используются магнитные опоры, а на выходе керамические подшипники с масляной или консистентной смазкой.

Турбомолекулярный насос ЕХТ250М

Серия турбомолекулярных насосов ЕХТ также включает в себя вакуумный насос ЕХТ250М, в котором используется полностью магнитный подвес ротора. Это дает дополнительные преимущества:

• безмасляная откачка — полное отсутствие следов углеводородов;
• не требует технического обслуживания — отсутствие механического износа подшипников;
• низкий уровень вибраций — ниже уровня вибраций обычных подшипников;
• минимальные требования к охлаждению — в большинстве случаев достаточно естественного охлаждения;
• произвольная ориентация — насос может быть установлен в любом положении.

Компактный контроллер TIC Turbo&Instrument снабжен большим графическим дисплеем, удобным интерфейсом и последовательным портом для полностью дистанционного управления и снятия показаний с помощью новой программы для WindowsTM. Контроллер автоматически распознает и поддерживает до трех вакуумных датчиков BOC Edwards (исключая IGC и Barocels), а также один турбомолекулярный насос серии ЕХТ с напряжением питания 24 В. Подключение системы охлаждения и вентиляционного клапана также осуществляется через контроллер. К контроллеру может быть подключен малогабаритный диафрагменный насос 24 В (для версии контроллера 200 Вт) или в случае необходимости, через дополнительный блок реле, можно подключить более производительный насос (вплоть до Е2М28). К блоку реле может быть также подключен нагреватель и форвакуумный клапан. На блоке реле расположены три канала подключения, каждый — 250 В, 3 А, блокировка которых происходит по сигналу с вакуумного датчика. Датчики давления могут быть использованы для включения турбомолекулярного насоса и высоковакуумных датчиков. Или, наоборот, установка временных задержек и нормальных сигналов могут быть использованы для контроля включения турбомолекулярного насоса и вспомогательных инструментов. В вашем распоряжении широкий выбор всевозможных защитных функций и блокировок. TIC Turbo&Instrument контроллер располагается в стандартной стойке или на столе и является удобным центром гибкого управления различными комбинациями вакуумного оборудования.

Доступны различные конфигурации откачных постов на основе турбомолекулярных насосов серии EXT.

Откачной пост на основе турбомолекулярного насоса серии EXT и пластинчато-роторного насоса		Откачной пост на основе турбомолекулярного насоса серии EXT и спирального насоса		Откачной пост на основе турбомолекулярного насоса серии EXT и диафрагменного насоса

Подробное описание турбомолекулярных насосов серии EXT (PDF 2,7 Мб).

Гибридные молекулярные насосы серии nЕXT серия гибридных молекулярных насосов с усовершенствованной конструкцией подвеса Гибридные молекулярные насосы обладают более высоким коэффициентом компрессии для легких газов и способны работать при более высоких выпускных давлениях по сравнению с аналогичными турбомолекулярными насосами. Основным преимуществом насосов серии nEXT является простота в обслуживании, обусловленная особенностями конструкции, которые позволяют производить замену единственного шарикового подшипника и картриджа со смазкой без специального оборудования, после чего не требуется балансировка ротора. Описание гибридных молекулярных насосов nEXT